طراحی دستگاهی برای تولید قطعات میکروالکترونیک توسط محققان کشور

[seyed mehdi hoseyni 27119]

پژوهشگران دانشگاه تهران دستگاهی برای تولید قطعات میکرو‌الکترونیک با دقت یک میکرون و مجهز به 2 لنز تولید کردند که در فرآیند لیتوگرافی صنایع میکروالکترونیک به کار می‌رود و جزء اقلام تحریمی است.

یکی از محققان این پروژه تحقیقاتی با بیان این‌که این دستگاه با عنوان "ماسک آی نر" طراحی و عرضه شده است، گفت: این دستگاه برای تطبیق ماسک (نقش) برای فرآیند لیتوگرافی در صنایع میکروالکترونیک و ادوات ممز (سیستم‌های الکترونیکی و مکانیکی در ابعاد میکرو) استفاده می‌شود.

وی اظهار داشت: زمانی که می‌خواهیم قطعات میکروالکترونیک را تولید کنیم، معمولا نیاز به چند لایه ماسک داریم که برای این‌که این لایه‌ها روی یک‌دیگر در ابعاد میکرو بر هم منطبق شوند، نیاز به دستگاه ماسک آی نر داریم که در این پروژه موفق به طراحی این دستگاه شدیم.

وی با اشاره به عمل‌کرد این دستگاه ادامه داد: طرح مورد نظر که نیاز است بر روی ویفرهای قطعات الکترونیکی منتقل شود، ابتدا در ابعاد بزرگ‌تر طراحی می‌شود و سپس همان طرح در ابعاد کوچک‌تر تهیه و توسط این دستگاه روی ویفرها منتقل خواهد شد.

وی با تاکید بر این‌که این دستگاه از بخش‌های اپتیکی، مکانیکی و الکترونیکی ساخته شده‌است، اضافه کرد: این دستگاه جز فن‌آوری‌های پیشرفته است که به دلیل تحریم‌ها با محدودیت خرید آن مواجه هستیم و در این مطالعات تغییراتی در این دستگاه ایجاد کردیم تا متناسب با نیازهای کشور از آن بهره‌برداری شود.

این محقق با تاکید بر این‌که این دستگاه استفاده صنعتی دارد، افزود: از آنجایی که صنعت الکترونیک در کشور پیشرفته نیست از این دستگاه در بخش‌های آزمایشگاهی و تحقیقاتی استفاده می‌شود.

وی دقت بالای این دستگاه نسبت به نمونه‌های خارجی در عملیات تبدیل ماسک بر روی ویفرها را از مزایای مهم این دستگاه ذکر کرد و یادآور شد: علاوه بر آن این دستگاه مجهز به لنز (چشم) است و می‌تواند به صورت جداگانه در قسمت‌های مختلف ویفر با هر سایزی را تطبیق دهد.

عضو هیات علمی دانشکده علوم و فنون نوین دانشگاه تهران با تاکید بر اینکه دستگاه ماسک آی نر تولید شده در ابعاد صد در صد نور دارد، توضیح داد: عمل حک نقش بر روی ویفر سیلیکونی فرآیندی دارد که بخش اصلی آن با استفاده از نور در فرکانس‌های ماورا بنفش انجام می‌شود. این نور باید یکنواخت باشد و هر چه سطح انتشار نور بیشتر باشد، نمونه بزرگ‌تری را می‌تواند پوشش دهد که در این دستگاه پوشش صددرصدی دارد.

وی با بیان این‌که نمونه بومی‌سازی این دستگاه برخی از آپشن‌های نمونه خارجی را ندارد، خاطر نشان کرد: این دستگاه بخش‌هایی چون میز ضد لرزه و فرآیند اتوماتیک بر روی آن اضافه نشده است، ولی بر اساس نیاز مشتری این موارد قابل اضافه کردن به دستگاه است.

عسکری مقدم در خصوص دقت این دستگاه در صورت نداشتن میز ضد لرزه یادآور شد: داشتن میز ضد لرزه برخی از مشکلات را در انجام آزمایش‌ها بر طرف می‌کند و کیفیت انجام کار ار ارتقا می‌دهد ولی از آن‌جا که این کیفیت خیلی زیاد نیست از این رو بر اساس نیاز مصرف‌کننده می‌توان این میز را به آن اضافه کرد.

وی دقت سیستم انتقال این دستگاه را یک میکرون دانست و گفت: این دستگاه قابل اتصال به کامپیوتر برای فیلم گرفتن از پروسه تطبیق یا عکس‌برداری از نمونه در حین عمل تطبیق نقش بر روی ویفر را دارد.

به گفته این محقق نمونه خارجی این دستگاه 150 هزار دلار است که در این طرح تحقیقاتی ساخته و یک نمونه از آن فروخته شده است.