فناوری MEMS یا فناوری سیستمهای میکروالکترومکانیکی ، حاصل تلفیق اجزای مكانیكی، حسگرها، محركها و قطعات الكترونیكی بر روی یك لایه سیلیكون به كمك فناوری ساخت تراشههای میكرونی است . در واقع « MEMS » ، « ریزفناوری ها » یا سیستم های میکرو الکترو مکانیکی در واقع تلفیقی از اجزای مکانیکی ، حس گر ها ، بازو های مکانیکی و اجرای الکترونیکی هستند که بر روی لایه ای از ماده استراتژیک « سیلیکون » قرار دارند.این ساختار مکانیکی بسیار کوچک در ابعاد « میکرون » بر پایه تکنولوژی « تراشه های الکترونیکی » استوار است.
در این پست دو کتاب در ارتباط با سنسور های مکانیکی مورد مصرف در صنایع براتون آماده کرده ایم:
کتاب اول : Microsensors, MEMS, and Smart Devices
نوشته : Julian W. Gardner
University of Warwick, UK
Vijay K. Varadan
Osama O. Awadelkarim
فرمت : Pff
زبان : انگلیسی
حجم : 36 مگابایت
Download
کتاب دوم : MEMS Mechanical Sensors
نوشته : Stephen Beeby
Graham Ensell
Michael Kraft
Neil White
فرمت : Pff
زبان : انگلیسی
حجم : 2.5 مگابایت
Download
password : mechanicspa.mihanblog.com
دیگر برگه های مرتبط :
مقدمه ای بر تكنولوژی سیستم های میكرو الكترومكانیكی(MEMS)
فیلم آموزشی دز زمینه ممز (MEMS and Microsystems )