میکرو الکترو مکانیک

[ENG.SAHAND 31645]

Keywords: conductors (electric); etching; gyroscopes; micromachining; microsensors; platinum; temperature sensors; Coriolis effect; Pt; Si; bulk micromachining technology; cavity etching; computer-controlled precision rotary stage; conductor layer;

[h=1]

برای مشاهده این محتوا لطفاً ثبت نام کنید یا وارد شوید.

• ورود
• یا
• ثبت نام

[/h]