ENG.SAHAND 31645 ارسال شده در 7 دی، 2014 Keywords: conductors (electric); etching; gyroscopes; micromachining; microsensors; platinum; temperature sensors; Coriolis effect; Pt; Si; bulk micromachining technology; cavity etching; computer-controlled precision rotary stage; conductor layer; [h=1] برای مشاهده این محتوا لطفاً ثبت نام کنید یا وارد شوید. ورود یا ثبت نام [/h] 1
ارسال های توصیه شده