تاپیک مرجع - میکروسکوپ های الکترونی روبشی (sem)

[Peyman 16,150]

توجه : برداشت از مطالب این تاپیک تنها با ذکر منبع آن مجاز می باشد. (http://www.noandishaan.com)

 

 

از دستگاه SEM براي مشاهده نمونه‌هاي مختلفي از جمله انواع فلزات و آلياژها، سنگ‌ها، مواد پليمري، حشرات، مقوا و غيره مي توان استفاده كرد. البته اگر چنانچه نمونه غيرهادي باشد آنگاه تصوير نمونه به هنگام مشاهده در ميكروسكوپ، ثابت و واضح نبوده و متحرك خواهد بود كه براي رفع اين عيب و مشاهده نمونه‌هاي عايق، ابتدا بايستي سطح آنها را با عمليات پوشش‌دهي رسانا و هادي نمود؛ زيرا در غير اينصورت الكترون‌ها در نمونه تجمع كرده و باعث دفع الكترون‌هاي رسيده از منبع الكترون شده و لذا كيفيت تصوير افت خواهد نمود. براي پوشش‌ دهي سطح از موادي استفاده مي‌شود كه علاوه بر داشتن هدايت الكتريكي بالا، در برابر اكسيد شدن نيز مقاوم باشد؛ زيرا اكسيد باعث كاهش هدايت الكتريكي مي‌گردد. براي پوشش‌دهي معمولا از طلا يا نقره استفاده مي‌شود. اگر چنانچه نمونه مانت شده باشد براي هادي نمودن آن بايستي سطح و كناره‌هاي آن توسط محلول‌هاي نقره‌اي و يا گرافيتي به زير نمونه كه به stage متصل است، وصل گردند تا الكترون‌هاي تجمع كرده، بتوانند شارش نمايند.

 

 

 

 

بر روي stage روزنه‌هايي جهت تعبيه stubها وجود دارد كه در حقيقت نمونه‌هاي ريز و كوچكي مانند مقوا، مواد پودري و غيره بر روي اين stubها مستقر مي‌گردند. بنابراين خود اين stubها نيز بايستي هادي جريان باشند. در آماده‌سازي نمونه‌هاي پودري بايستي دقت نمود تا ذرات پودري كاملا توسط چسب به يكديگر متصل گردند زيرا در غير اينصورت ذرات پودر وارد دستگاه خلا (vacume) خواهد شد. در دستگاه SEM يك لوله استوانه‌اي قسمت تفنگ و محوطه دستگاه را به يكديگر متصل نموده است تا عمليات خلا راحتتر صورت گيرد. دهانه لوله vacume توسط شبكه توري بسته شده است تا از ورود احتمالي ذرات و مواد به درون دستگاه خلا جلوگيري گردد.

 

 

اجزاء SEM:

 

از دو قسمت سخت افزاري و نرم افزاري تشكيل شده است و عبارتند از: پمپ خلاء، ستون ميكروسكوپ (شامل تفنگ ميكروسكوپ الكتروني و سيلندر فيلامان) زير ستون Stage محل قرارگرفتن نمونه‌ها، دوربين براي عكس گرفتن (CCD)، آشكارساز SE، WDS، آشكارساز BSE، آشكارساز جريان نمونه، آناليزور EDS كامپيوتر اصلي، كامپيوتر WDS، پمپ دوتايي خلاء، پمپ ديفوريوني.